PSS衬底片反射率测量及TLC网址 首页 > TLC网址

PSS衬底片反射率测量及TLC网址系我公司与清华大学合作研制的专利产品。该设备可在线快速检测PSS衬底片刻蚀前和刻蚀后的反射率(PR)数据,生成高分辨率的Mapping图,可为衬底片刻蚀工艺控制提供可靠的数据。

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